等离子体(plasma)是由带负电荷的粒子(负离子、电子)、带正电荷的粒子(正离子)和不带电荷的粒子所组成的电离状态的气体物质。通常与物质的固态、液态、气态并列,称为物质的第四态。
它是通过气体放电或加热的办法,从外界得到足够的能量,使气体分子或原子轨道上的电子变成自由电子。如火焰和电弧中的高温部分,都是在高温下产生的等离子体。在化学工业中利用等离子技术可以实现一系列的化学反应,生产出多种产品以及形成薄膜。
在表面处理中,等离子有下列作用:
①等离子清洗:可以去除肉眼看不见的有机污染物和表面吸附层,以及工件表面的薄膜层。一次超精密的清洗处理可以解决工件表面的附着力问题。
②等离子活化处理:通过活化在工件表面产生理想结合面,对聚合物和原材料进行上胶、印刷、焊接和喷涂的前处理。
③等离子聚合:应用等离子技术,通过亚微型高度连接的薄胶片沉淀获得新的表层结构,增强喷涂和表面处理的效果,形成疏水、疏油、亲水和有屏蔽作用的涂层。
JSD等离子表面处理机——等离子体清洗
将等离子体处理工艺用于半导体和印刷线路金属五金玻璃等加工已有很长时间。等离子体用于各种表面的清洗和增强附着力、粘着力、贴合力、亲水性等。
对于下列情况,等离子体清洗工艺可得到利用:
①要求清洗元件的多种油脂成分,而且有机残留物的总量又很少;
②必须处理多种工件材料;
③工件有复杂的形状;
④由于任何原因湿式清洗不合要求。
与常规湿式清洗比较的主要优点是:
①将氧作为清洗剂,它价格低也不需要进行处理;
②可连续供应新鲜的处理气体,不存在清洗剂的老化问题;
③封闭室式操作不要求特别的职业性安全措麓;
④因为不需要干燥,故能耗低;
⑤造成的废料仅仅是少量的象CO2和H2O气这样的气体。
因注意到的很重要的一点是无任何溅射发生。有机物的清洗仅仅由它同活性氧的化学反应来实现。碳氢化合物的链分几步陆续被破坏,最终形成的CO2和H2O气体被真空泵抽走。不与处理气体反应的无机材料当然不会被清除。
等离子体清洗的重要应用是:
①电气接触器的金属去脂;
②多层印刷电路板上的孔的清洗,因为微波等离子体可进入狭缝和小孔;
③在干蚀刻之后光致抗蚀剂的剥离;
④药品和生物学中的消毒处理。
等离子表面处理机
参数如下:
型号:JSD-DLZ
电源电压AC 220/230V 50/60Hz
工作高频频率18KHz~60KHz
工作高压10KV
输出功率(可调)500w~1200w
旋转式处理宽度20-80mm
直喷式处理宽度2mm-13mm
功率消耗≤300w
工作气压范围0.05MPa~0.5MPa
气源要求0.30MPa~1.00Mpa
主机尺寸(W/H/L)260X300X460
重量15Kg